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    • 產(chǎn)品名稱(chēng):GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      型號(hào):GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      規(guī)格:GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      備注:GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
      GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐

      號(hào)

      名稱(chēng)

      規(guī)格參數(shù)

      材質(zhì)

      數(shù)量

      備注

      1

      130 爐膛組件

      3 溫區(qū)/最高溫 1100℃

      每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度 300mm/ 不要隔層

      硅酸鋁

      2 套

      適配 130mm 外徑石英管

      增配 30mm 直徑爐

      膛兩端堵頭

      3

      130 預(yù)熱爐膛組件

      1 溫區(qū)/ 預(yù) 區(qū) 長(zhǎng)

      100mm,溫度 300-400℃

      硅酸鋁

      2 套

      適配 130mm 外徑石英管

      增配 30mm 直徑爐

      膛兩端堵頭

      3

      130 爐殼

      組件

      適配 130 外徑石英管

      Q235

      2 套

      鈑金加工

      噴塑 9016 交通白

      4

      130 預(yù)熱

      爐殼組件

      適配 130 外徑石英管

      Q235

      2 套

      鈑金加工

      噴塑 9016 交通白

      5

      石英管

      外徑?130mm

      石英

      2 根

      預(yù)估長(zhǎng)度 3000mm

      6

      130 水冷

      法蘭組件

      適配 130 外徑石英管

      SUS 304

      4 套


      7

      30 法蘭組

      適配 30 外徑石英管

      SUS 304

      4 套








      8

      滑軌滑塊

      長(zhǎng)度 3500 滑軌/配 8 個(gè)滑塊

      SUJ2

      4 套


      9

      真空泵



      2 臺(tái)


      10

      熱電偶

      K 型


      8 根


      11

      觸摸屏

      屏幕箱和安裝支架

      昆侖通態(tài)

      2 個(gè)

      可安裝型材上

      12

      溫控表

      宇電


      8 塊


      13

      過(guò)濾器



      2 個(gè)


      14

      冷水機(jī)



      1 臺(tái)

      帶壓力壓縮機(jī)

      15

      PLC 組件

      獨(dú)立電箱,西門(mén)子 S7-200 基礎(chǔ)版,24 伏電源等


      2 套

      尺寸依據(jù)支架寬度進(jìn)行設(shè)計(jì),便于懸掛安裝上下兩層右

      側(cè)各放一套

      16

      壓力表



      2 個(gè)


      17

      角閥


      不銹鋼

      4 個(gè)


      18

      波紋管

      配合 KF25 接口連接,配套卡


      2 根

      長(zhǎng)度依據(jù)離地高度

      就近原則

      11

      臺(tái)面板

      1750x700x2(長(zhǎng) x 寬 x 厚)

      SUS 304

      6


      10

      型材支架

      3500x700x2300(長(zhǎng) x 寬 x 高)

      A6063-T5

      1 套

      上下兩層各放一套

      爐子

      11

      坦克鏈

      配合爐子滑動(dòng)使用


      2 根



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